Die Vorteile der Halbleiterdetektoren gegenüber andern Detektoren sind:

• Energiemessung: Bestimmung der Energie der einfallenden Strahlung, wozu ein Geiger-Müller-Zählrohr nicht in der Lage ist.
• Gammaspektroskopie: hochpräzise Messung der Energie von Photonen.
• Spur- und Vertexdetektoren: hochpräzise Vermessung von Teilchenspuren.
• Geringere Herstellungskosten: Herstellungsprozesse aus der Mikrochip-technologie, konnten nahezu 1:1 übernommen werden.
• Nahezu unbegrenzte Lebensdauer. Ein Geiger Müller Zählrohr altert mit jedem gemessenen Zerfall bis das Löschgas verbraucht ist.
• Keine mehrere 100V hohe Betriebsspannung erforderlich.

Mit einem Geigerzähler/Halbleiterdetektor lässt sich ionisierende Strahlung messen. Ionisierende Strahlung heißt allgemein jede Strahlung, die es vermag, ein Elektron aus einem Atom oder Molekül herauszuschlagen. Derartige Strahlung geht auch von radioaktiven Stoffen aus, weshalb man häufig von „radioaktiver Strahlung“ spricht. Genau genommen ist allerdings nur das Material radioaktiv, das ionisierende Strahlung aussendet, nicht die Strahlung selbst.